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本文叙述了当前变容泵的真空度测量中所使用的主要仪器,测量过程中产生的测鼍误差,通过对比试验分析误差产生的原因和在实际工作中必须注意的问题.本文给出的分析结果和可行性方案对真空厂家和用户在实际应用中有参考意义.
变容真空泵真空度的测量与误差分析
【摘 要】
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本文叙述了当前变容泵的真空度测量中所使用的主要仪器,测量过程中产生的测鼍误差,通过对比试验分析误差产生的原因和在实际工作中必须注意的问题.本文给出的分析结果和可行
【机 构】
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浙江真空设备集团有限公司,浙江,台州,318000
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2010年4期
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