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光刻胶废剥离液回收工艺中二乙二醇单甲醚(MDG)和N-甲基甲酰胺(NMF)的沸点相近,二者的混合物直接精馏分离的成本很高,新分离工艺开发成为必然.以COSMO-RS理论对初步选择的萃取剂进行定量筛选;利用数据拟合获得了非随机双液体(NRTL)模型的二元交互参数,并通过实验验证其可靠性;设计了以丙三醇为萃取剂的精馏工艺,并通过Aspen Plus分析工艺中萃取精馏塔的萃取剂加入量、理论塔板数等主要工艺参数对分离过程的影响.结果表明,以丙三醇为萃取剂的萃取精馏工艺流程合理,设备成本和能耗相比直接精馏工艺更低.