论文部分内容阅读
1前言MEMS技术正在对科学和技术的各个领域产生重大影响.它将使光波系统发生巨大变革.一些器件如光开关、可调衰减器、有源平衡器、分插复用器(ADMs)和光交叉连接器件(OXCs)、增益倾斜均衡器、数据传送器和许多其他微型器件会在先进的光波网络系统中得到广泛的应用,文中以一些器件为例简要介绍它们的功能.