脉冲激光诱导钛表面氮化的研究

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【摘要】

：

介绍了在氮气气氛下，用脉冲激光照射钛表面实现钛的诱导氮化的实验结果。利用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和拉曼光谱对氮化表面进行了结构表征和性能分析。X射线衍射（XRD）结果显

【作者】

：

金永吉邵天敏尹亮高学宁

【机构】

：

清华大学摩擦学国家重点实验室

【出处】

：

材料工程

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

氮化钛脉冲激光氮化钛 nitridation titanium pulsed laser titanium nitride

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介绍了在氮气气氛下，用脉冲激光照射钛表面实现钛的诱导氮化的实验结果。利用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和拉曼光谱对氮化表面进行了结构表征和性能分析。X射线衍射（XRD）结果显示氮化层的主要成分是α-Ti相和δ-TiN相，同时含有少量的α-Ti（N）固溶体。随着激光平均功率的增加，氮化层中δ-TiN相和α-Ti（N）固溶体含量逐渐增加，相应的氮含量也逐渐增加。纳米硬度测试结果显示氮化层的纳米硬度和弹性模量较基材钛明显增加，2mN载荷下测得氮化层的纳米硬度和弹性模量分别在11．5～15GPa和200

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