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用磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的NbSiN复合薄膜。采用色散能谱仪、x射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪表征复合膜的成分、微结构、力学性能以及室温和高温摩擦磨损性能。实验结果表明：NbSiN复合膜中只存在面心立方NbN结构，且呈（200）择优取向；Si的加入使复合膜硬度得到提高，Si含量为20．29％（原子分数）时硬度达到最大值32．1GPa，随着Si含量的进一步增加，复合膜的硬度逐步降低。室温和高温摩擦磨损实验结果表明，在室温时，NbSiN复合膜的平均摩擦因数在0．60～0．68之间，波动不