,Origin of Initial Current Peak in High Power Impulse Magnetron Sputtering and Verification by Non-S

来源 :中国物理快报（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：coldcoffee_10

【作者】

：

Zhong-Zhen Wu Shu Xiao Sui-Han Cui Ricky K.Y.Fu Xiu-Bo Tian Paul K.Chu Feng Pan

【机构】

：

School of Advanced Materials, Peking University Shenzhen Graduate School, Shenzhen 518055“,”Departme

【出处】

：

中国物理快报（英文版）

【发表日期】

：

2016年7期

【关键词】

：

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