【摘 要】
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文章介绍了自主研发的高能量电子枪的原理、设计和测试结果。该电子枪主要由电子发射组件、电磁聚焦组件、电磁偏转组件、差分抽真空维持机构和控制电源构成,可以发射、聚焦
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文章介绍了自主研发的高能量电子枪的原理、设计和测试结果。该电子枪主要由电子发射组件、电磁聚焦组件、电磁偏转组件、差分抽真空维持机构和控制电源构成,可以发射、聚焦并偏转高能量电子。测试结果显示,电子枪发射的电子能量最大可达30 ke V,加速电压和发射电流成正比例对应关系,电子束斑直径在100μm以下,电子束偏转角度大于5°。通过实测Si(111)单晶体,获得了良好的电子衍射图像。
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