【摘 要】
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提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转，从而实现二维开关功能的MEMS光开关．使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析，并对微镜制动梳齿的位置、器
【机 构】
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北京大学微电子研究所,北京大学物理学院
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提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转，从而实现二维开关功能的MEMS光开关．使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析，并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化．通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转，使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率，将制动电压降至18V．引入背面梳齿提高开关响应速度，模拟结果表明，光开关具有毫秒量级响应时间．与其他设计相比，该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点．
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