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在机械超精密加工中，以压电陶瓷驱动柔性铰链的快速伺服刀架系统是保证加工精度和效率的关键系统之一。根据柔性铰链在该系统工作过程中频率高、加速度高的特点，分析选择其缺口形式的原则，设计柔性铰链对称的拓扑结构，建立柔性铰链的动态数学模型，利用解析方程求解符合满足加工要求的放大倍数。最后根据柔性铰链要求有较好的热稳定性及柔度等特性，借助Ansys仿真出压电陶瓷的驱动力与柔性铰链的微位移之间的关系。