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砷烷是电子气体中用途十分广泛，技术难度非常大的烷类气体，它是一个国家电子气先进与否的重要标志，超纯砷烷的产业化技术，涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多的专业，为发展我国IC产业，尽快实施超纯AsH3产业化技术研究意义重大。
我国超纯砷烷产业化生产技术研究
【摘 要】
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砷烷是电子气体中用途十分广泛，技术难度非常大的烷类气体，它是一个国家电子气先进与否的重要标志，超纯砷烷的产业化技术，涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多的专业，为发展我
【机 构】
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光明化工研究设计院,辽宁大连甘井子甘北路34号116031
【出 处】
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2006全国低温与特种气体技术交流大会
【发表日期】
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2006年10期
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