Ge1-xCx薄膜的制备及红外特性的研究

来源 :材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zeiwu158

【摘要】

：

利用等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备出Ge1-xCx薄膜,并系统地研究了工艺参数对薄膜成分的影响,以及不同组分Ge1-xCx薄膜的红外光学特性.结果表明,薄膜中的C含量随着CH4/Ge

【作者】

：

吴小文张维佳钟立志黄浩

【机构】

：

北京航空航天大学材料物理与化学研究中心

【出处】

：

材料工程

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

Ge1-xCx薄膜 PECVD 红外特性沉积速率 Ge1-xCx thin film PECVD infrared property deposition r

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利用等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备出Ge1-xCx薄膜,并系统地研究了工艺参数对薄膜成分的影响,以及不同组分Ge1-xCx薄膜的红外光学特性.结果表明,薄膜中的C含量随着CH4/GeH4气体流量比的增大而增大;薄膜的红外折射率随组分的不同在2～4范围内变化;薄膜的沉积速率随射频功率增大而增大,但当功率达到60 W以后其变化不明显;沉积速率随温度的增加而减少;该薄膜具有透长波红外的性能.

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