【摘 要】
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采用集群磁流变效应研磨加工方法对氮化铝（A1N）陶瓷基片进行研磨加工，系统地分析了主要工艺参数的影响和最终经过精密研磨后的加工表面形貌特征。结果表明，集群磁流变效应研磨加
【机 构】
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深圳职业技术学院机电工程学院,广东工业大学机电工程学院
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采用集群磁流变效应研磨加工方法对氮化铝（A1N）陶瓷基片进行研磨加工，系统地分析了主要工艺参数的影响和最终经过精密研磨后的加工表面形貌特征。结果表明，集群磁流变效应研磨加工方法可以实现对氮化铝（A1N）陶瓷基片的高效率高精度研磨加工，原始表面Ra1．730μm经过粗研10min和精研30min后可以达到0．029μm，下降两个数量级。在粗研阶段，选用二氧化硅磨料#4000、磨料体积分数12％、研磨盘转速150r／min、研磨压力3．5kPa，可以获得较高的材料去除率和较光滑的加工表面。
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