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用高精度圆光栅作分度基准的圆分度光电检验仪、测角仪和光电圆刻机，一旦出现故障，判断起来很困难。本文提供一种简易的判别办法，并提供了可参考的测试电路。
用圆光栅作分度基准的高精度仪器的故障判断
【摘 要】
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用高精度圆光栅作分度基准的圆分度光电检验仪、测角仪和光电圆刻机，一旦出现故障，判断起来很困难。本文提供一种简易的判别办法，并提供了可参考的测试电路。
【机 构】
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中科院长春光学精密机械研究所,吉林省技术监督学校
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1997年12期
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