高纯W-Si合金粉的研制

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ioljok1988
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以高纯W粉、Si粉为原料,在真空环境下进行高温预合金化处理,制备了高纯W-Si合金粉。通过优化,确定了最佳预合金化温度为1000℃;合金粉中,单质W相消失,生成WSi2相。粉末粒度呈单峰分布,d50为21.037μm,d90为50.905μm,纯度可达到99.995%以上。采用合金粉烧结的磁控溅射靶材的微观组织、成分均匀分布,解决了W-Si靶材成分难以均匀的难题。 Using high-purity W powder and Si powder as raw materials, high-temperature pre-alloying treatment was carried out under vacuum environment to prepare high-purity W-Si alloy powder. Through the optimization, the best pre-alloying temperature was determined to be 1000 ℃. In the alloy powder, the simple W phase disappeared and the WSi2 phase was formed. The particle size of the powder showed a unimodal distribution with d50 of 21.037μm, d90 of 50.905μm and purity of 99.995%. The microstructure and composition of the magnetron sputtering target sintered with alloy powder are evenly distributed, which solves the problem that the composition of the W-Si target is difficult to be uniform.
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