【摘 要】
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<正> 硅片倒角,也称硅片整圆,是硅片外形规格化必不可少的工序。从某种意义上说,有否倒角工序标志着硅片加工的技术水平。硅片倒角的目的是减少硅片崩边,防止硅片破裂,提高成
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<正> 硅片倒角,也称硅片整圆,是硅片外形规格化必不可少的工序。从某种意义上说,有否倒角工序标志着硅片加工的技术水平。硅片倒角的目的是减少硅片崩边,防止硅片破裂,提高成品率,避免外延时出现的硅片卷边现象和滑移线,对提高硅片质量起着重要的作用。硅片倒角在国外的主要硅材料公司,如西德的瓦克化学公司、美国的孟山都公司、日本的信越公司等均已采用。我国有关单位如北京电子管厂等也已采用。以往我国使用的硅片倒角机和硅片倒角砂轮系由日本进口,其制造技术属于“专利”。现在,硅片倒角机和砂轮我国已试制成功并已应用于生产。本文仅就硅片倒角用金刚石砂轮的制造与使用,谈一些认识和体会。
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