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半导体设备真空泵常见故障分析及维修
半导体设备真空泵常见故障分析及维修
来源 :设备管理与维修 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Hatchet
【摘 要】
:
介绍半导体真空设备使用的常见真空泵,归纳总结几种典型的真空泵常见故障原因和处理办法。
【作 者】
:
刘豪
张强
赵志昊
丁文杰
【机 构】
:
重庆声光电有限公司
【出 处】
:
设备管理与维修
【发表日期】
:
2020年5期
【关键词】
:
半导体设备真空泵
设备维修
故障分析
旋片泵
分子泵
低温泵
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介绍半导体真空设备使用的常见真空泵,归纳总结几种典型的真空泵常见故障原因和处理办法。
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