【摘 要】
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钌酸盐是典型的ABO3型过渡金属氧化物,具有金属导电性,其薄膜可作为电极材料用于集成铁电等器件中。分析了BaRuO3的钙钛矿晶体结构和导电机制,并利用ArF准分子脉冲激光沉积(PLD)技术,结合后续退火处
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海大学材料学院
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钌酸盐是典型的ABO3型过渡金属氧化物,具有金属导电性,其薄膜可作为电极材料用于集成铁电等器件中。分析了BaRuO3的钙钛矿晶体结构和导电机制,并利用ArF准分子脉冲激光沉积(PLD)技术,结合后续退火处理,在Si(100)衬底上生长出具有(110)取向、室温电阻率约10-2~10-3Ω·cm的BaRuO3高导电性薄膜,俄歇能谱(AES)和Rutherford背散射谱(RBS)分析表明:薄膜BaRuO3的纯度高、成分均匀性好,BaRuO3/Si界面存在扩散过渡层。
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