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本论文介绍所研制的适用于30kV高压端的ECR离子源高真空微调针阀控制系统.系统中被控对象是位于ECR源上的高真空微调针阀,它与地面之间有30kV的电位差.系统的特点是使用光路实现高压绝缘和信息传输.这为解决位于ECR离子源高压端器件的控制问题提出新思路.
ECR离子源高真空微调针阀控制系统
【摘 要】
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本论文介绍所研制的适用于30kV高压端的ECR离子源高真空微调针阀控制系统.系统中被控对象是位于ECR源上的高真空微调针阀,它与地面之间有30kV的电位差.系统的特点是使用光路
【机 构】
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广州大学理学院物理系
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2004年7期
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