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砷化镓类半导体器件因其良好的性能在多芯片微波组件中应用广泛。密封组件内部气氛中的氢气对砷化镓类微波器件影响很大。文章通过对吸氢材料应用进行试验,验证了吸氢剂具有控氢成本低、效果优良等优点,其可以作为多芯片微波组件的一种有效控氢方法。
多芯片微波组件的一种控氢方法研究
【摘 要】
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砷化镓类半导体器件因其良好的性能在多芯片微波组件中应用广泛。密封组件内部气氛中的氢气对砷化镓类微波器件影响很大。文章通过对吸氢材料应用进行试验,验证了吸氢剂具有
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三十八研究所
【出 处】
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科技传播
【发表日期】
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2019年1期
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