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阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程，完成了30．4nmMg／SiC周期和非周期多层膜设计，研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响．计算发现，种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前提，膜厚取值范围的合理选择是提高算法效率的关键．设计得到入射角10°的周期多层膜和15°～22°范围内的宽角多层膜在波长30．4nm处的反射率依次为56．57％与39．96±0．29%，5°入射的双功能多层膜在波长30．4nm和