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提出了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振（Thin film bulk acoustic resonator，FBAR）质量传感器。薄膜体声波谐振器谐振频率非常高（GHz数量级），同时具有很高的品质因数，因此基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度。提出了三对全金属Al-W层作为布拉格声学反射层的FBAR，采用AlN作为压电层，制备出了固态装配型FBAR传感器。通过淀积不同厚度Al层顶电极，对器件的质量灵敏度进行了分析，得到质量传感器串联谐振频率在2．8GHz附近，质量响应度达到5×1