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近年来随着机器的小型化、成本的降低,各石英晶振生产企业不断追求生产效率的提高以及精度的提高.在石英晶振生产过程中,目标频率的微调较大程度影响着石英晶振的精度.应用石英晶振的原理,基于蚀刻技术实现石英晶振的频率微调,从而提高石英晶振的精度.
基于离子蚀刻技术实现石英晶振的频率微调
【摘 要】
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近年来随着机器的小型化、成本的降低,各石英晶振生产企业不断追求生产效率的提高以及精度的提高.在石英晶振生产过程中,目标频率的微调较大程度影响着石英晶振的精度.应用石
【机 构】
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苏州大学电子信息学院
【出 处】
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苏州市职业大学学报
【发表日期】
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2011年3期
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