Mg-8Li-1Al合金表面磁控溅射法制备Ti/TiN复合薄膜的研究

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采用高功率复合脉冲磁控溅射技术在Mg-8Li-1Al合金表面制备了Ti/TiN复合薄膜,对薄膜相组成和形貌进行了表征。研究了氩气与氮气流量比(QAr/QN2)和溅射时间对薄膜性能的影响,以及薄膜的腐蚀行为。结果表明,采用高功率复合脉冲磁控溅射技术,可以在Mg-Li合金表面制备结合强度高、抗腐蚀性强的Ti/TiN复合防腐薄膜。
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