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测高g值的加速度硅微传感器[4]采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差.采用MAX1457专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差.本文分析了MAX1457的工作原理,设计了获得补偿参数的系统,最后采用高速的CMOS逻辑或门对8个阵列传感器信号进行选择.
基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理
【摘 要】
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测高g值的加速度硅微传感器[4]采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差.采用MAX1457专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差.本文分析
【机 构】
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电子科技大学机械工程学院
【出 处】
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中国测试技术
【发表日期】
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2005年2期
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