【摘 要】
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为了满足大口径非球面光学元件加工的需求,提出了用多模式组合加工（MCM）技术修正大口径非球面反射镜环带误差的方法。本文讨论的MCM技术以经典加工工艺为基础,采用抛光盘的多工
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室,中国科学院研究生院
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为了满足大口径非球面光学元件加工的需求,提出了用多模式组合加工（MCM）技术修正大口径非球面反射镜环带误差的方法。本文讨论的MCM技术以经典加工工艺为基础,采用抛光盘的多工位加工和抛光模式的组合完成光学元件的抛光,实现对光学表面中低频段误差的有效控制。介绍了MCM技术的重要组成部分JP-01抛光机械手的工作原理,分析了MCM的工作模式。采用MCM技术对Φ1230mm的非球面反射镜进行环带误差的修正,给出了镜面面形检测结果。实验结果表明,MCM技术可以有效地控制光学表面的中低频误差,使光学表面误差得到有效收
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