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简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用。
微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理
【摘 要】
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简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用。
【机 构】
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北京广播学院物理教研室
【出 处】
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北京广播学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年02期
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