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采用射频感应耦合离子源（ICP）在硅基底上沉积了DLC薄膜,通过原子力显微镜（AFM）和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征,用UTM-2摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦学性能进行了测试。结果表明,利用该方法沉积制备的DLC薄膜具有良好的减摩抗磨性能。
射频感应耦合化学气相沉积类金刚石薄膜的摩擦性能研究
【摘 要】
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采用射频感应耦合离子源（ICP）在硅基底上沉积了DLC薄膜,通过原子力显微镜（AFM）和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征,用UTM-2摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦学性能进
【机 构】
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河南化工技师学院
【出 处】
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河北化工
【发表日期】
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2011年7期
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