基于MEMS热电堆传感器的高温测量技术

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【摘要】

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为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围,实现高温测量,根据MEMS热电堆传感器的原理,设计完成了A2TPMI334型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置,通过试验得到标定结果;同时

【出处】

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传感器与微系统

【发表日期】

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2009年9期

【关键词】

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瞬态高温 MEMS热电堆传感器静态与动态标定高温测试系统红外衰减片

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为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围,实现高温测量,根据MEMS热电堆传感器的原理,设计完成了A2TPMI334型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置,通过试验得到标定结果;同时,提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方案和实现手段,并对其关键部分--红外衰减片性能进行了分析和讨论.

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