【摘 要】
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目的联合使用光谱型椭偏仪（SE）和分光光度计,精确测定超薄四面体非晶碳薄膜（ta-C）的光学常数。方法由于该薄膜的厚度对折射率、消光系数有很大的影响,仅采用椭偏参数拟合,难以准
【机 构】
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酒泉职业技术学院甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室,酒泉新能源研究院,中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室
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目的联合使用光谱型椭偏仪（SE）和分光光度计,精确测定超薄四面体非晶碳薄膜（ta-C）的光学常数。方法由于该薄膜的厚度对折射率、消光系数有很大的影响,仅采用椭偏参数拟合,难以准确得到该薄膜的光学常数,椭偏法测定的未知参数数量大于方程数,椭偏方程无唯一解。因此,加入透过率与椭偏参数同时进行拟合（以下简称SE＋T法）,以简单、快速、准确地得到该薄膜的光学常数。结果薄膜具有典型的非晶碳膜特征,SE和SE＋T两种拟合方法得到的光学常数具有明显的差异,消光系数k在可见以及红外区最大差值可达0.020,紫外区最大的偏
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