基于多孔硅光激荧光淬灭效应的SO2传感器

来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liu0211yan

【摘要】

：

本文提出了用于大气环境中SO2含量监测的多孔硅(porous silicon)光学传感方法.该方法利用电化学浸蚀和UV光氧化后形成轻微氧化多孔Si,所产生的表面膜对SO2气体具有良好的敏感

【作者】

：

黎学明杨建春陈伟民黄尚廉李虎

【机构】

：

重庆大学国家教育部,ADORCofJESC

【出处】

：

光电子·激光

【发表日期】

：

2001年10期

【关键词】

：

多孔硅荧光淬灭效应二氧化硫传感器 sulfur dioxide(SO2) porous silicon photoluminescent quenching

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本文提出了用于大气环境中SO2含量监测的多孔硅(porous silicon)光学传感方法.该方法利用电化学浸蚀和UV光氧化后形成轻微氧化多孔Si,所产生的表面膜对SO2气体具有良好的敏感特性.本文依据SiOxHy/Si界面处的过渡态模型分析了该方法的传感原理,利用SEM和荧光光谱仪对UV光氧化的多孔Si膜层性质及传感性能进行初步实验,取得预期研究结果.

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