化学蚀刻PI工艺在挠性印制电路制作中的应用

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微电子技术飞速发展,特别是集成电路的高集成化,以及高密度封装技术的快速进步,推动了高密度挠性印制电路板制造技术的高速发展。高密度互连结构的挠性印制电路的导线间距越来越窄、导线的宽度越来越精细,孔径日趋减小,结构越来越复杂,要求悬空引线或双面连接的单面挠性印制电路,加工技术难度系数越来越高,采用传统的制作方法难以满足导线尺寸和精度的要求。本文介绍了化学蚀刻聚酰亚胺工艺方法,以及在挠性印制电路制作中的几个应用实例。
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