论文部分内容阅读
FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）薄膜体声波谐振器作为谐振器领域的重要分支，比声表面波滤波器（SAWF）、陶瓷介质滤波器具有更高的Q值，低的损耗和在高频时具备更高的功率承受能力。由薄膜体声波谐振器组成的滤波器、双工器目前已广泛应用于通信、生物、化学、物理等领域，本文介绍了FBAR薄膜体声波谐振器专利技术的演进及发展，并关注近年来关于薄膜体声波谐振的专利分布。