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期刊论文
硅压阻式传感器性能影响因素的研究
硅压阻式传感器性能影响因素的研究
来源 :西南工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:MagicStone2005
【摘 要】
:
对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析,并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析,给出了部分实验数据与理论分析.
【作 者】
:
朱目成
夏季
张立红
刘强
【机 构】
:
西南工学院
【出 处】
:
西南工学院学报
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
压阻式传感器
灵敏度
硅
性能
线性度
量程
piezoresistive transducer
sensitivity
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对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析,并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析,给出了部分实验数据与理论分析.
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