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对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析,并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析,给出了部分实验数据与理论分析.
硅压阻式传感器性能影响因素的研究
【摘 要】
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对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析,并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析,给出了部分实验数据与理论分析.
【机 构】
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西南工学院
【出 处】
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西南工学院学报
【发表日期】
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2000年2期
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