【摘 要】
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以可溶性无机盐为原料,通过溶胶-凝胶法在Al2O3基片上制备了SrBi2Ta2O9(SBT)铁电陶瓷薄膜. 实验结果表明,在前驱体溶胶制备中,络合剂的种类对溶胶的稳定性和SBT相薄膜的形成
【机 构】
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天津大学高温结构陶瓷及工程陶瓷加工技术教育部重点实验室
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以可溶性无机盐为原料,通过溶胶-凝胶法在Al2O3基片上制备了SrBi2Ta2O9(SBT)铁电陶瓷薄膜. 实验结果表明,在前驱体溶胶制备中,络合剂的种类对溶胶的稳定性和SBT相薄膜的形成有重要影响. 在以EDTA和乙二醇为络合剂时,易形成均匀稳定的 溶胶和单一相的SBT薄膜. 在薄膜制备工艺中,Bi2O3的高温挥发性和薄膜的退火温度是控制制备过程的关键因素. 当Bi过量40%,且在700 ℃的温度下退火热处理,可以制备出符合化学计量比、结晶性较好、具有均匀晶粒尺度的SrBi2Ta2O9铁电陶瓷薄膜.
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