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设计了一种谐振加速度计．这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳．利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感．利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计，测试的灵敏度为27．3Hz／g，分辨率为167．8μg．
一种新型体硅谐振加速度计
【摘 要】
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设计了一种谐振加速度计．这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳．利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感．利用MEMS体硅工艺
【机 构】
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北京大学微电子研究所,清华大学精密仪器系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年2期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划资助项目 (批准号 :2 0 0 2AA43 0 0 2 0 )~~
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