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纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计

来源 :半导体学报 | 被引量 : 5次 | 上传用户：chtg

【摘 要】

：

综合使用通用电路模拟软件 PSPICE和有限元分析软件 A NSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟 .得到了各项参数的优化值 ,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应 .在此基础上 ,提出了一种 Top- down的优化设计方式以准确预测系统的行为 ,分析了各组件的相互作用及其对系统性能的影响

【作 者】

：

陈兢 刘理天 李志坚 

【机 构】

：

清华大学微电子学研究所

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2001年07期

【关键词】

：

CAD EDA 动态特性 微麦克风 纹膜结构 TOP-DOWN设计 MEMS CAD dynamicbehaviour miniaturemicrophone 

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综合使用通用电路模拟软件 PSPICE和有限元分析软件 A NSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟 .得到了各项参数的优化值 ,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应 .在此基础上 ,提出了一种 Top- down的优化设计方式以准确预测系统的行为 ,分析了各组件的相互作用及其对系统性能的影响

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