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我们已开发出用于三片式彩色投影机的高集成化硅上液晶（ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ－ｏｎ－ｓｉｌｉｃｏｎ）光阀。硅片是由０．３５ｕｍ、３－金属和双压ＣＭＯＳ工艺设计和制作的，其空间分辨率为１２８０×１０２４象素。象素间距为１２ｕｍ，开口率为９０％，显示区对角线为０．７ｉｎ。硅片上安装着混合扭曲向列型和双折射液晶盒。Ｖｍｓ＝５．５Ｖ时的对比度为２００：１。光学分系统利用装有三个硅光阀的三色棱镜来实现彩