【摘 要】
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用电容式传感器测量振幅有一个缺点,就是测量灵敏度会随着传感器探头与振动体之间的距离(lift-off)而变化。本文描述一种适用于工业测量、振幅范围为1～l00mμ的测量装置。为使
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用电容式传感器测量振幅有一个缺点,就是测量灵敏度会随着传感器探头与振动体之间的距离(lift-off)而变化。本文描述一种适用于工业测量、振幅范围为1～l00mμ的测量装置。为使灵敏度不随距离变化,对振动体和传感器探头提供了串联的两种电源。一种是直流电源,另一种是交流(高频)电源。通过低通和高通滤波器把最后合成信号分离成两个信号。低频成分(eoL)与振幅成正比,而与距离的平方成反比;高频成分(eoH)与距离成反比。通过在电路上进行的运算,就可实现距离补偿。当传感器探头有效面积为4.11mm~2时,对距离从
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