【摘 要】
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当前国际上基于Vaughan二次电子模型的材料数据库十分丰富,且其数据均经过大量实验验证,具有很高的实验精度和可信度.为了将这些数据库融入到自主开发的电磁粒子联合模拟平台
【机 构】
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东南大学毫米波国家重点实验室,西安空间无线电技术研究所空间微波技术重点实验室,西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室
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当前国际上基于Vaughan二次电子模型的材料数据库十分丰富,且其数据均经过大量实验验证,具有很高的实验精度和可信度.为了将这些数据库融入到自主开发的电磁粒子联合模拟平台,完善和提高电磁粒子混合算法的计算精度,在对经典Vaughan模型做了深入研究的基础上,成功地推导出产生二次电子数目的计算方法.此外,为了使经典Vaughan二次电子发射理论更便捷和完整地应用到实际工程应用当中,还对二次电子出射能量以及二次电子出射角度的计算等实际问题做了进一步的拓展性研究.数值计算结果验证了拓展后Vaughan模型算法的
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