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热处理时间对IT0薄膜显微组织及光电性能的影响
热处理时间对IT0薄膜显微组织及光电性能的影响
来源 :广东技术师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cnars
【摘 要】
:
采用溶胶一凝胶法在玻璃基体上制备了ITO薄膜,研究了后续热处理时间对ITO薄膜显微组织及光电性能的影响.研究结果表明:随着热处理时间的延长,ITO薄膜的微观形貌发生了很大的
【作 者】
:
王敏
蒙继龙
【机 构】
:
广东技术师范学院机电学院
【出 处】
:
广东技术师范学院学报
【发表日期】
:
2007年7期
【关键词】
:
ITO薄膜
溶胶一凝胶法
热处理时间
小丘生长
光电性能
ITO films
sol-gel method
heat-treatment time
hilloc
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采用溶胶一凝胶法在玻璃基体上制备了ITO薄膜,研究了后续热处理时间对ITO薄膜显微组织及光电性能的影响.研究结果表明:随着热处理时间的延长,ITO薄膜的微观形貌发生了很大的变化,出现了小丘生长并伴随着回复与再结晶过程,严重影响了ITO薄膜的光电性能.
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