热处理时间对IT0薄膜显微组织及光电性能的影响

来源 :广东技术师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cnars
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采用溶胶一凝胶法在玻璃基体上制备了ITO薄膜,研究了后续热处理时间对ITO薄膜显微组织及光电性能的影响.研究结果表明:随着热处理时间的延长,ITO薄膜的微观形貌发生了很大的变化,出现了小丘生长并伴随着回复与再结晶过程,严重影响了ITO薄膜的光电性能.
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