【摘 要】
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研究AlON层厚度对TiAlN/AlON纳米多层涂层显微组织和性能影响.使用磁控溅射技术在高速工具钢(W6Mo5Gr4V2)上制备TiAlN/AlON纳米多层涂层,使用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计、
【机 构】
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北方工业大学机械与材料工程学院,农业部规划设计研究院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51575004),北方工业大学毓优团队支持计划资助项目(18XN012),北方工业大学毕业设计实培计划资助项目(XN1821).
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研究AlON层厚度对TiAlN/AlON纳米多层涂层显微组织和性能影响.使用磁控溅射技术在高速工具钢(W6Mo5Gr4V2)上制备TiAlN/AlON纳米多层涂层,使用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计、通用表面测试仪表征和分析纳米多层涂层的组织和性能.结果表明:在TiAlN模板的作用下,非晶体的AlON转变为晶态,与TiAlN形成共格外延生长,使纳米多层涂层出现了超硬现象.当AlON层厚度为0.81nm时涂层硬度最高,达到3 769.6HV,比TiAlN单层涂层显微硬度提高了60.37%;之后随着AlO
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