β-BaB2O4薄膜制备技术的研究和进展

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为了满足飞秒超快激光技术和集成光学发展的需要、解决β-BaB2O4(β-BBO)体单晶中因厚度带来的群速度失配问题以及脉宽展宽等问题,人们开始了β-BBO薄膜的制备技术研究.文章简要总结了现有的β-BBO薄膜的制备技术,包括溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法和金属有机化学气相沉积法;讨论了各种制备技术的发展现状及其优缺点;提出了目前薄膜制备及应用中存在的一些问题及今后的发展方向.
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