夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ljdoctor
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随着先进光学系统设计与制造的发展,大口径光学系统得到了广泛的应用.然而,大口径平面镜高精度面形的检测手段不足,限制了大口径平面镜的制造与应用.为实现大口径平面反射镜的高精度面形检测,提出一种夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜面形的方法.对扫描拼接原理、波前重构算法进行了研究,建立了微透镜阵列成像的数学模型,验证了夏克哈特曼扫描拼接检测原理的可行性.针对一 口径为150 mm的平面镜进行了扫描拼接检测实验,拼接得到的全口径面形为0.019λ RMS(λ=635 nm);与干涉检测结果对比,检测精度为0.008λ RMS,结果表明该方法能够实现大口径平面反射镜的高精度检测.
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