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期刊论文
激光法纳米硅粉的制备工艺研究
激光法纳米硅粉的制备工艺研究
来源 :应用激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ayahaha
【摘 要】
:
本文研究了制备纳米硅粉的工艺参数:获得了最佳工艺参数:激光功率密度1600W/cm^2,硅烷浓度10%,高纯氩稀释,反应气体流量100cm^3/s,反应池压力26.7kPa。改变工艺参数可制备不同粒度的纳米硅粉。
【作 者】
:
王卫乡
刘颂豪
【机 构】
:
华南师范大学量子电子学研究所
【出 处】
:
应用激光
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
激光
纳米硅粉
制备
工艺
纳米材料
laser
nanosized silicon powders
【基金项目】
:
广东省高教局重点学科和广东省基金
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本文研究了制备纳米硅粉的工艺参数:获得了最佳工艺参数:激光功率密度1600W/cm^2,硅烷浓度10%,高纯氩稀释,反应气体流量100cm^3/s,反应池压力26.7kPa。改变工艺参数可制备不同粒度的纳米硅粉。
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