加速度计充放电式差分电容测量电路噪声模型

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为了估计差分电容测量电路中的噪声影响,并针对高精度加速度计的应用需求,分析了充放电式测量电路的噪声源的影响,建立了电路的噪声模型,得出了电路的等效加速度噪声公式。通过实际测量现有电路,得出开环状态下测量时间差与加速度差的关系,并推导出电路的加速度噪声量级。计算结果表明:在给定电路参数下,充放电法的噪声约为10-6gn量级,比较器噪声对电路噪声性能影响较大,差分电容的共模寄生电容和比较器阈值也会影响电路噪声性能。
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