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采用11种与因瓦合金成分含量相接近的镍基合金标准样品绘制校准曲线,建立了基本不需要样品处理即可对因瓦合金中14种元素（C、Si、Mn、P、S、Ni、Cr、Mo、Cu、Al、Nb、Ti、Co、Fe）同时测定的辉光放电光谱法。确定辉光光谱仪检测因瓦合金的最佳条件：模块电压和相电压分别为8.22V和3.82V;功率为70 W;冲洗时间为80s;积分时间为60s。以各元素质量分数为横坐标,其对应的光谱强度为纵坐标绘制校准曲线,各元素校准曲线的相关系数均在0.99以上。采用实验方法对因瓦合金实际样品进行分析,结果显