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从已普及使用的扫描电子显微镜(SEM)的应用现状出发,阐述了最近发展的电子显微技术如环境扫描电子显微镜(ESEM)、扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)等新的电子显微技术的结构原理及应用特点。
电子显微技术的现状与发展
【摘 要】
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从已普及使用的扫描电子显微镜(SEM)的应用现状出发,阐述了最近发展的电子显微技术如环境扫描电子显微镜(ESEM)、扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)等新的电子显微技术
【机 构】
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扬州教育学院
【出 处】
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扬州教育学院学报
【发表日期】
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2003年03期
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