【摘 要】
：
为提高谐振式MEMS压力传感器的品质因数,且同时降低温度漂移,设计了一种传感器的单芯片级真空封装和低应力组装方法,选用非光敏苯并环丁烯(BCB)材料在真空加热、加压条件下实
【机 构】
：
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院大学,
论文部分内容阅读
为提高谐振式MEMS压力传感器的品质因数,且同时降低温度漂移,设计了一种传感器的单芯片级真空封装和低应力组装方法,选用非光敏苯并环丁烯(BCB)材料在真空加热、加压条件下实现PYREX 7740玻璃空腔与传感器芯片的黏合键合,在可伐合金管座上加工出与传感器尺寸相匹配的方形空腔,实现传感器芯片的低应力组装.实验结果表明:传感器具有较高的品质因数(9 455),检测范围为500~1100 hPa,灵敏度为9.6 Hz/hPa,满量程最大非线性度为0.08%,-40℃~50℃内温度系数为0.9 Hz/℃,温度总漂移为传感器满量程变化的1.3%,传感器在开机加电稳定后长时漂移为0.086%F.S.
其他文献
为规避跨境工作人员的税务风险,需深入辨析“一带一路”国家个人所得税制度。本文以59个开征个人所得税的“一带一路”国家为基础,从征税标准、应税项目、课税模式、扣除设计
在全球化、信息化、都市化的当今时代．心理健康已成为越来越多人关注的话题和精神追求。中国传统文化，尤其是儒、道、佛三家学说蕴含着丰富的心理学思想和心理健康教育资源，探讨
脊索瘤好发于颅底和脊柱的浸润性骨肿瘤,起源于残留的胚胎脊索。通常发生在成人,儿童罕见,20岁以下的患者
目的：观察肾康丸对糖尿病（DM）大鼠模型的肾功能及基质分泌的影响.方法：用链脲佐菌素（STZ）腹腔注射法诱导建立大鼠DM模型,模型成功后随机分为3组：模型对照组、开搏通组、肾康丸组,另
<正>在无锡地铁1号线太湖广场站,一种像造汽车一样造房子的新型工业化建造方式正在无锡机电安装领域全面推广。运用机电安装工业化,借助信息化手段首次实现地下工程可视化管
目的建立社区护理质量评价的核心指标体系,为社区卫生服务整体质量评价提供依据。方法运用3轮德尔菲(Delphi)专家咨询法,确定核心指标及各指标的权重系数。结果核心指标体系
目的建立了一种基于颜色判定的,能够快速准确地检测铜绿假单胞菌的LAMP方法。方法针对铜绿假单胞菌OprL基因设计3对LAMP引物,通过引物特异性识别OprL的8个独立区域来快速检测
探讨了采用螺旋给料式喷粉罐喷粉净化铝液时影响喷粉量的因素。得出了定量螺旋给料器的转速、顶流量、底流量以及顶、底气路的压力对喷粉量的影响及其规律性,对实际生产有参
哈佛大学的校长曾经说过这样一句话:"哈佛最引以自豪的不是培养了六位总统、三十六位诺贝尔奖获得者,而是给予每个学生以充分的选择机会和发展空间,让每一颗金子都闪闪发光。
[目的]通过建立稀土优质高效苗木生产基地,提高苗木成活率及生长量,形成促进苗木生长的系列化配套技术。[方法]将稀土植物生长调节剂、稀土农用转光膜、稀土磷肥等7种新材料