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基于悬臂梁振动和纯弯曲理论，提出测试薄膜弯曲疲劳寿命的简易实验方法。将待检测的薄膜沉积在一定尺寸的金属片上作为试样，外力驱动试样作悬臂梁一阶弯曲受迫振动，通过光学显微镜观察其表面的薄膜是否开裂或剥落，确定薄膜的疲劳寿命，理论计算获得应力分布。以CoCrMo为基体材料研究了TiO2薄膜的疲劳特性。