【摘 要】
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本文报道了NTD CZ-Si 708cm~(-1)、742cm~(-1)、776cm~(-1)中照缺陷红外吸收带退火特性和温度特性的研究结果.三个带产生的退火温度为350℃-550℃,500℃退火效应最明显,峰强
【机 构】
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天津电子材料研究所,天津电子材料研究所,天津电子材料研究所 天津300192,天津300192,天津300192
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本文报道了NTD CZ-Si 708cm~(-1)、742cm~(-1)、776cm~(-1)中照缺陷红外吸收带退火特性和温度特性的研究结果.三个带产生的退火温度为350℃-550℃,500℃退火效应最明显,峰强达到最大值;10-95K变温测量峰位频移为零.10-60K时,峰强随温度升高而平缓增加,60K时达到最大值.在60-95K温区,峰强随温度升高而迅速下降,至100K时已全部消失.
In this paper, we report the results of the study on the annealing and temperature characteristics of the IR absorption bands of the as-worn defects in NTD CZ-Si 708cm -1, 742cm -1 and 776cm -1 .The annealing temperatures of the three bands are 350 ℃ -550 ℃, 500 ℃ annealing effect is most obvious, the peak intensity reaches the maximum value; 10-95K temperature measurement peak position frequency shift is zero .10-60K, the peak intensity increases gently with increasing temperature, reaching the maximum at 60K In the 60-95K temperature range, the peak intensity decreases rapidly with increasing temperature and disappears completely until 100K.
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